광전효과(photo voltaic effect)를 이용하여 빛 에너지를 직접 전기에너지로 변환 시키는 반도체 소자를 말한다.
광전효과(photo voltaic effect)는 아인슈타인이 빛의 입자성을 이용하여 설명한 현상으로 금속 등의 물질에 일정한 진동수 이상의 빛을 비추었을 때 물질의 표면에서 전자가
튀어나오는 현상이다.
저 진공(10-2~10-3 Torr) 상태에서 증착 가능한 장점이 있으며, PVD 방식에 비해 재료 소모가 적어 제조단가를 낮추는데 크게 기여할 수 있다.
또한, 화학기상증착법의 고유 특성인 대면적화, 고품질의 박막, 장치의 단순화를 구현할 수 있는 장점이 있다.